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초음파분무화학기상증착 시스템을 이용한 전력반도체용 산화갈륨 에피텍셜 레이어 증착장비 개발연구
DNN(Deep Neural Network)을 이용한 CFD 데이터 학습 Regression 과 Process Condition Optimization 연구
Mist-CVD를 이용한 대면적 고품질 β-산화갈륨(β-Ga2O3) 성장 연구(증착두께, 결정성, 밴드갭 측정)
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